技術內容
鈦鋯鉿金屬氮化物為四元體系薄膜材料，元素組成配比視窗較廣，固溶強化作用強烈，機械性質與熱穩定性更高於傳統材料。由於靶材重元素配比，直接提高濺鍍粒子動能，無需外加偏壓或者高功率脈衝設備即可鍍製高品質硬質薄膜。鈦鋯鉿金屬氮化物同屬IV族元素，固溶之後仍能保持淡金黃色澤，附加價值較高。目前應用於摩擦攪拌銲接頭上，並已證實可延長3倍的使用壽命。
廠商資格
（一）廠商業別：鍍膜設備製造商或精密機械加工廠商
（二）應具備之專門技術：真空鍍膜技術
（三）應有之機具設備：濺鍍機或陰極電弧沉積系統
（四）應有之研究或技術人員人數：2人以上
（五）其他：無
預期利用範圍
將此材料製程應用於摩擦攪拌銲接頭上，再利用摩擦攪拌銲接技術進行銲接銅及銅合金的產品、或是鋁與銅的異材銲接。