具有通道應力源之N型與P型鍺場效電晶體以及半導體結構
光電所 張書通老師
一種P型鍺場效電晶體,此P型鍺場效電晶體係由半導體結構形成,且半導體結構包括通道層、源極、汲極、高介電係數氧化物以及閘極。通道層係以鍺作為材料。源極形成於通道層中或通道層上,係以鍺錫合金作為材料。汲極形成於通道層中或通道層上,係以鍺錫合金作為材料。高介電係數氧化物形成通道層上,且於水平方向上,介於源極與汲極之間。閘極形成於高介電係數氧化物上,且於水平方向上,介於源極與汲極之間。P型鍺場效電晶體的通道寬度與通道長度的比例大於等於5。
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