本發明關於一種太陽能電池之矽基板之製造方法，包括有：準備一表面具有一凹凸微結構之矽基材；將該矽基材浸於一第一酸性蝕刻液中，該第一酸性蝕刻液包含有一第一濃度之金屬離子以及一酸性溶液；將該矽基材浸於一第二酸性蝕刻液中，該第二酸性蝕刻液包含有一第二濃度之該金屬離子以及該酸性溶液，且該第二濃度低於該第一濃度；以及移除沉積於該矽基材之凹凸微結構表面與各該奈米槽孔內之金屬粒子。本發明還關於一種由前述方法製得之太陽能電池之矽基板。
102PF0032
中華民國
發明
I511318
中興大學