技術摘要
本發明係一種氣體感測器，包含有一基板、一指叉電極、以及一感測薄膜，該指叉電極具有一底層設於該基板、一第一電極設於該底層、以及一第二電極設於該底層，該第一電極具有一第一主體、以及多數第一延伸部由該第一主體延伸而出，該第二電極具有一第二主體、以及多數第二延伸部由該第二主體延伸而出，該等第一延伸部與該等第二延伸部交錯排列，使該指叉電極之頂面形成一中央較四周低陷之承置部，該感測薄膜位於該承置部中且貼附於該第一電極與該第二電極。藉此，該氣體感測器對於丙酮等氣體具有良好的偵測靈敏度，製造良率高且可降低製造成本。
成果來源
中興大學
申請專利國家
中華民國（發明）
專利證號
I705245