技術摘要
本發明係有關一種仿生物複眼微透鏡影像擷取系統之製法,其藉下述步驟:一.預備步驟、二.微影成形步驟、三.光阻熱熔步驟、四.電鑄翻模步驟、五.微透鏡薄膜成形步驟、六.抽氣成形步驟及七.結合完成步驟,而先於一基板上塗佈一正光阻層,再於正光阻層上覆設具有複數透鏡成形孔的光罩,以紫外光經透鏡成形孔照射正光阻層而成形複數個光阻圓柱結構,進一步將複數個光阻圓柱結構高溫整形為複數個半圓狀微透鏡結構;利用複數個半圓狀微透鏡結構成形金屬模仁,再翻模成形微透鏡薄膜;以抽氣裝置的負壓使微透鏡薄膜彎曲成曲面微透鏡薄膜,再以曲面微透鏡薄膜與模液固化成形仿生物複眼微透鏡結構;其可與影像感測器結合,而可用以擷取影像。故,本案兼具製程易於控制、成本低、結構具穩定性與應用範圍廣等優點及功效。
成果來源
國科會
申請專利國家
中華民國(發明)
專利證號
I476909