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仿生物複眼微透鏡影像擷取系統之製法


精密所   楊錫杭老師

技術摘要


本發明係有關一種仿生物複眼微透鏡影像擷取系統之製法,其藉下述步驟:一.預備步驟、二.微影成形步驟、三.光阻熱熔步驟、四.電鑄翻模步驟、五.微透鏡薄膜成形步驟、六.抽氣成形步驟及七.結合完成步驟,而先於一基板上塗佈一正光阻層,再於正光阻層上覆設具有複數透鏡成形孔的光罩,以紫外光經透鏡成形孔照射正光阻層而成形複數個光阻圓柱結構,進一步將複數個光阻圓柱結構高溫整形為複數個半圓狀微透鏡結構;利用複數個半圓狀微透鏡結構成形金屬模仁,再翻模成形微透鏡薄膜;以抽氣裝置的負壓使微透鏡薄膜彎曲成曲面微透鏡薄膜,再以曲面微透鏡薄膜與模液固化成形仿生物複眼微透鏡結構;其可與影像感測器結合,而可用以擷取影像。故,本案兼具製程易於控制、成本低、結構具穩定性與應用範圍廣等優點及功效。

成果來源


國科會


申請專利國家


中華民國(發明)


專利證號


I476909