本發明提供一種壓電感測元件的製作方法，包含(a)提供一基材，該基材具有一個基板、一層形成於該基板其中一表面的犧牲層，及一層形成於該犧牲層表面的底電極層，(b)於該底電極層的表面形成多個由壓電材料構成並具有壓電特性的奈米柱，(c)於該些奈米柱的間隙形成一層高分子緩衝層，及(d)移除該犧牲層，令該底電極層與該基板分離，即可完成該壓電感測元件的製作；此外，本發明還同時提供一種由該製作方法製得的壓電感測元件。
國科會
中華民國（發明）
I550924