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量測裝置及量測方法


精密所   洪瑞華老師

技術摘要


一種量測裝置包含一光學單元、一位置偵測器,及一運算單元,該光學單元發射連續的雷射光束至一待測物體的表面並產生複數反射光,該位置偵測器用以接收該等反射光且包括一第一、第二電極,每一反射光分別在該第一、第二電極形成一第一、第二電流,該運算單元電連接該位置偵測器以接收每一第一、第二電流,且將該第一、第二電流分別進行相減、相加來產生一減法信號,及一加法信號,該運算單元根據該等減法信號與該等加法信號進行運算來得到該待測物體的表面的曲率,其中該曲率與該減法信號成正比,且與該加法信號成反比。

成果來源


國科會


申請專利國家


中華民國(發明)


專利證號


I539137