一種安裝於一移載裝置的加工裝置，該加工裝置配置以進行一接觸式表面加工，並包含一軸向力控制單元、一第一快拆組件、以及一第二快拆組件。該軸向力控制單元具有配置以耦接於該移載裝置的一第一端、以及相對於該第一端的一第二端，該第一快拆組件配置於該第一端，該第二快拆組件配置於該第二端，其中：該第一快拆組件耦接於該移載裝置，且該第二快拆組件配置以搭載一表面加工工具。
國科會
中華民國（發明）
I741562