本申請係關於一種半導體裝置。該半導體裝置包含:基板;閘極堆疊,設置於該基板上方;及源極與汲極,鄰近設置於該閘極堆疊的兩側。該閘極堆疊包括:第一導電層;第一鐵電層,設置於該第一導電層上方;第二鐵電層,設置於該第一鐵電層上方;及第二導電層,設置於該第二鐵電層上方。本申請之半導體裝置具有低次臨限擺幅、可消除遲滯現象且可同時改良啟動電流等優點。
國科會
中華民國(新型)
M585987