本發明有關於一種利用電漿電解氧化製備氧化物膜的方法，其係先將一陽極以及一陰極置入一電解質溶液中，其中該陽極為具有導電氮化物膜的基材，而該電解質溶液的溫度範圍大於20℃且小於100℃，接著再將50 V至1000 V的電壓施加於該陽極以及該陰極，最終在該陽極的導電氮化物膜的表面形成一氧化物膜。相較於習用製備氧化物膜的方法，本發明不僅能夠更快速地製得氧化物膜，且製得之氧化物膜的結晶性較佳。
國科會
美國（發明）
US 8,808,522 B2