本發明提供一種電沈積銅奈米粒子之方法,其包括下列步驟:(A)提供一電沈積反應系統,該電沈積反應系統包括一電解液、一置於電解液中的導電氮化物膜作為工作電極、一置於電解液中的銅金屬或銅合金作為輔助電極、以及一置於電解液中的參考電極;以及(B)施加脈衝電壓於該電沈積反應系統,使該導電氮化物膜表面形成銅奈米粒子。
國科會
美國(發明)
US 9,272,903 B2