技術摘要
一種基板劃線系統，適用於對一基板劃線，該基板劃線系統包含: 一機架單元；一施力單元，設置於該機架單元；一振動單元，與該施力單元連接，並包括一蘭杰文振幅放大器，及一設置於該蘭杰文振幅放大器的振動產生器，該蘭杰文振幅放大器用於放大該振動產生器所產生的振動；一刀具單元，與該振動單元連接，並適用於對該基板劃線；一控制單元，與該施力單元及該振動產生器電連接，該控制單元用於控制該施力單元對該振動單元施加一下壓力，並用於控制該振動單元對該刀具單元施加一振動力；及一感測單元，與該振動單元電連接，當該刀具單元壓在該基板上時，該感測單元用於感測該刀具單元所產生的一回授壓力與一回授振動力的至少其中一者，該控制單元可根據該回授壓力與該回授振動力的至少其中一者，即時回饋控制該下壓力與該振動力的至少其中一者。
成果來源
國科會
申請專利國家
中華民國（發明）
專利證號
I838980