本發明係一種光電化學裝置，包含有一基板、一氮化鈦層以及一氮摻雜二氧化鈦層，該氮化鈦層係覆蓋於該基板，該氮摻雜二氧化鈦層係覆蓋於該氮化鈦層，該氮摻雜二氧化鈦層中的氮原子比例由下而上在2.5~4.5 at%範圍中改變。藉此，該光電化學裝置可提昇光電轉換效能，且其製程可有效簡化，以縮短製程時間並降低製造成本。
國科會
中華民國（發明）
I820777