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仿生物複眼微透鏡影像擷取系統之製法

精密所  楊錫杭老師

本發明係有關一種仿生物複眼微透鏡影像擷取系統之製法，其藉下述步驟：一．預備步驟、二．微影成形步驟、三．光阻熱熔步驟、四．電鑄翻模步驟、五．微透鏡薄膜成形步驟、六．抽氣成形步驟及七．結合完成步驟，而先於一基板上塗佈一正光阻層，再於正光阻層上覆設具有複數透鏡成形孔的光罩，以紫外光經透鏡成形孔照射正光阻層而成形複數個光阻圓柱結構，進一步將複數個光阻圓柱結構高溫整形為複數個半圓狀微透鏡結構；利用複數個半圓狀微透鏡結構成形金屬模仁，再翻模成形微透鏡薄膜；以抽氣裝置的負壓使微透鏡薄膜彎曲成曲面微透鏡薄膜，再以曲面微透鏡薄膜與模液固化成形仿生物複眼微透鏡結構；其可與影像感測器結合，而可用以擷取影像。故，本案兼具製程易於控制、成本低、結構具穩定性與應用範圍廣等優點及功效。

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