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太陽能吸收裝置

材料系  呂福興老師

本發明係一種太陽能吸收裝置，由一基材與一太陽能吸收膜所組成，該太陽能吸收膜具有一底面與一頂面，該底面係與該基材連接，該頂面則相背與該底面，該太陽能吸收膜之成份為TiN xOy，由該底面至該頂面，x由1變至0.1，y由0.2變至2；藉此，該太陽能吸收裝置不僅結構單純、製程快速，而且成本低廉，極具市場競爭潛力。

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太陽能吸收裝置

材料系  呂福興老師

本發明係一種太陽能吸收裝置，由一基材與一太陽能吸收膜所組成，該太陽能吸收膜具有一底面與一頂面，該底面係與該基材連接，該頂面則相背與該底面，該太陽能吸收膜之成份為TiN xOy，由該底面至該頂面，x由1變至0.1，y由0.2變至2；藉此，該太陽能吸收裝置不僅結構單純、製程快速，而且成本低廉，極具市場競爭潛力。

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製備金屬氮化物膜之方法

材料系  呂福興老師

一種製備金屬氮化物膜之方法，係先將一靶材與一基材置入一真空腔體中，該靶材係由鈦或鋯所製成；接著，再利用濺鍍法於該基材表面形成一金屬氮化物膜，該金屬氮化物膜係氮化鈦膜或氮化鋯膜，其中，真空腔體之工作壓力固定於5×10-4~5×10-2 torr，通入空氣與氬氣於該真空腔體中，空氣/氬氣之流量比為(5~15)/100，以一電源供應器提供輸出功率為100~5000 W之直流電，由於空氣之取得極為方便，且背景真空度之要求較習知方法為低，使本發明所提供之方法具有設備簡易、製程快速、成本低廉等優點。

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電沈積銅奈米粒子之方法

材料系  呂福興老師

本發明提供一種電沈積銅奈米粒子之方法，其包括下列步驟：(A)提供一電沈積反應系統，該電沈積反應系統包括一電解液、一置於電解液中的導電氮化物膜作為工作電極、一置於電解液中的銅金屬或銅合金作為輔助電極、以及一置於電解液中的參考電極；以及(B)施加脈衝電壓於該電沈積反應系統，使該導電氮化物膜表面形成銅奈米粒子。

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電沈積銅奈米粒子之方法

材料系  呂福興老師

本發明提供一種電沈積銅奈米粒子之方法，其包括下列步驟：（A）提供一電沈積反應系統，該電沈積反應系統包括一電解液、一置於電解液中的導電氮化物膜作為工作電極、一置於電解液中的銅金屬或銅合金作為輔助電極、以及一置於電解液中的參考電極；以及（B）施加脈衝電壓於該電沈積反應系統，使該導電氮化物膜表面形成銅奈米粒子。

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利用電漿電解氧化製備氧化物膜的方法

材料系  呂福興老師

本發明有關於一種利用電漿電解氧化製備氧化物膜的方法，其係先將一陽極以及一陰極置入一電解質溶液中，其中該陽極為具有導電氮化物膜的基材，而該電解質溶液的溫度範圍大於20℃且小於100℃，接著再將50 V至1000 V的電壓施加於該陽極以及該陰極，最終在該陽極的導電氮化物膜的表面形成一氧化物膜。相較於習用製備氧化物膜的方法，本發明不僅能夠更快速地製得氧化物膜，且製得之氧化物膜的結晶性較佳。

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製備金屬氮化物膜之方法

材料系  呂福興老師

本發明是以物理氣相沈積法，利用空氣(air )取代純氮氣(N2)，與氬氣(Ar)一起，在電漿環境下，控制不同的氬氣(Ar)與空氣(air)的比值，製備出金屬氮化物(MNx)薄膜，本發明能有效降低設備與製程成本，將使其金屬氮化物(MNx)薄膜應用更為廣泛。 以氮化鈦(TiNx)或氮化鋯(ZrNx)而言，在電漿環境下，背景壓力只需抽1~3分鐘，即可進行製備。而使用空氣(air)作為反應性氣體，以適當的air/Ar比例，所鍍著之薄膜，經X光繞射儀與特性檢定，確定能成功製備出氮化薄膜。

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製備金屬氮氧化物膜之方法

材料系  呂福興老師

一種製備金屬氮氧化物膜之方法，係先將一金屬靶材與一基材置入一真空腔體中，該金屬靶材係由鈦、鋯、鉻或其合金所製成，並將背景壓力保持在5×10-6~5×10-2 torr；接著，利用物理氣相沈積法於該基材表面形成一金屬氮氧化物膜，沈積時該真空腔體之工作壓力保持於5×10-4~5×10-2 torr，並將空氣與氬氣通入該真空腔體中，其中空氣/氬氣之流量比為(12~70)/100；由於空氣之取得較純氧與純氮方便得多，且背景真空度之要求較習知方法為低，使本發明所提供之方法具有設備簡易、製程快速、成本低廉等多重優點。

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植物品種權

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